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產品描述
參數
1.產品描述
一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件數據處理系統,可實現高解析度、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
2.產品特點
• 網格精度:200nm
• 最小線寬:700nm
• 基本尺寸:12inch(可拓展)
• 曝邊:選配
• 智能化:自動打碼、讀碼、對接MES系統
• 支持格式:GDSII/ODB++/Gerber
3.技術規格
設備型號 | LDW-D1 | |
支持基板尺寸[inch]
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300x300
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最小線寬[nm]
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700
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套刻精度[3σ,nm]
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400
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產能[ mm² /min] | 3000 | |
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