22日上午，會議開幕式由中科院物理研究所馮稷研究員主持，合肥市政府副市長趙明，市人大常委會副主任、合肥高新區黨工委書記、管委會主任宋道軍，全國半導體設備和材料標準化技術委員會微光刻分技術委員會秘書長陳寶欽，安徽省半導體行業協會理事長陳軍寧，中科院標準化管理委員會專家組代表麻云鳳，合肥高新技術產業開發區半導體投資促進中心主任劉緒勇，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事長程卓出席開幕式。

合肥市政府副市長趙明致辭

微光刻分技術委員會秘書長陳寶欽致辭

中科院標準化管理委員會專家組代表麻云鳳致辭

合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事長程卓致辭

市人大常委會副主任、合肥高新區黨工委書記、管委會主任宋道軍致辭

會議主辦方微光刻分技術委員會秘書長陳寶欽研究員代表全國半導體設備和材料標準化技術委員會領導及中國科學院條件保障與財務局張紅松主任對本會的祝賀,感謝多年來微光刻分技術委員會委員和代表們的努力和奉獻，總結歷經十年《微電子學微光刻技術術語》國家標準終稿獲全體委員通過性投票，并宣布全國半導體設備和材料標準化技術委員會微光刻分技術委員會第三屆年會暨第十二屆微光刻技術交流會正式開始。

合肥芯碁微電子裝備股份有限公司董事長程卓女士代表承辦方致歡迎詞，芯碁微裝很榮幸能夠作為活動承辦方與各位同仁共同打造這一年度行業盛會，同時感謝活動主辦方全國半導體設備和材料標準化技術委員會微光刻分會秘書處為半導體企業提供的平臺，芯碁微裝將一如既往發揮上市公司示范作用，推動行業標準化建設，促進行業良性發展，引領中國數字光刻的新超越。

本次會議，來自國內外的學者聚集到合肥，對微光刻技術、半導體設備和材料技術、先進光刻技術的發展趨勢、最新研究成果及進展等展開深入的交流與探討，促進了微納制造科研高速發展，為相關產業的健康發展作出了貢獻。